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日立FlexSEM 1000扫描电子显微镜
  • 紧凑型设计,分辨率为4 nm*1
  • 通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
  • 操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片
  • 新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野
  • 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2
*1设置在桌面时,分离主机和电源箱
*2选配

项目 内容
分解能*3 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE低真空模式
加速电压 0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率 6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (显示倍率)
低真空模式 真空范围:6 ~ 100 Pa
电子枪 预对中钨灯丝
样品台 3-轴自动马达台
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
max样品尺寸 直径80 mm
max样品高度 40 mm
尺寸 主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供电单元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探测器选配
  • 高灵敏度低真空二次电子探测器(UVD)
  • 能量分散型X线探测器(EDS)

*3
主机与供电单元组合使用
*
PC、桌子、机械泵、显示器需要本地采购


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