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日立AeroSurf 1500台式大气压扫描电子显微镜
1.含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
2.从低真空到大气压(数 Pa~105 Pa),可在大范围压力下进行SEM观察
3.标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能
4.在真空模式下,除了通常的SEM观察之外,还可进行EDX分析(选配)
5.主机采用330 mm宽度的小型设计,实现节省空间和高便利性
6.无需等待抽真空时间,快速实现从搭载样品到观察图像的全过程

概要

大气压观察(图1)

  • 样品设置在标准大气压环境下(105 Pa)
  • 配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离,在保持SEM内部真空的同时,可对样品进行电子束照射观察
  • 而且,可通过附带的真空泵在负压下(约103~105 Pa)进行观察

低真空观察(图2)

  • 隔膜可拆卸,还可进行低真空SEM观察和EDX分析
  • 搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器
项目 内容
电子枪 预对中灯丝
检测系统 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器
加速电压 5 kV/15 kV
倍率 ×15~×60,000(使用数码变焦时:×240,000)
观察压力 大气压模式(105 Pa)(装有隔膜时)
负压模式(约103 Pa~105 Pa)(装有隔膜时)
低真空模式(数 Pa~数10 Pa)(拆下隔膜时)
max样品尺寸 直径55 mm
大小和重量 主机:330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手动操作台)
控制装置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg
隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2台

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