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日本电子JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜

广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。

此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下：


◇ 半浸没式物镜


半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得高分辨率。


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◇ High Power Optics

High Power Optics 是电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

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浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的小物镜光阑而不需要改换。


浸没式肖特基场发射电子枪銃   

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浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。


光阑角控制镜（ACL）

光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。

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即使探针电流很大，束斑直径也很小


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长时间分析时稳定度也很高


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◇ 柔和电子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式


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GB 模式的效果


GB 模式在低电压下提高分辨率

左图一般模式，右图GB模式


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增强了的低加速电压下的分辨率


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◇ r-过滤器


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◇ LABE检测器（选配件）


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利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像


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◇ 扩展性


能谱仪（EDS）


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波谱仪（WDS）


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阴极荧光系统（CL）


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二次电子像分辨率 0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ）
分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA )
倍率 Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）
Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）
加速电压 0.1～30 kV
探针电流 数 pA ～ 200 nA
电子枪 浸没式肖特基场发射电子枪
透镜系统 聚光镜（CL）、  光阑角控制镜（ACL）、  半浸没式物镜（OL）
样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动
电子检测器系列 高位检测器、 r‐过滤器 内置、  低位检测器
自动功能 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节
图像观察用 屏幕尺寸 23英寸宽屏
液晶显示器  max分辨率 1,920 × 1,080像素
抽真空系统 电子枪室／中间室 SIP 离子泵
样品室 TMP 分子泵

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