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MRT-P/B主动隔振平台以连胜ZDT高性能空气弹簧作为基本的支撑;同时配以传感器、控制电路和音圈作动器,共同组成精密主动控制隔振系统。其中P/B型空气弹簧,一方面解决了光学平台及仪器设备的承载问题,另一方面可以对大于其隔振频率的环境振动进行第一级过滤;对于未完全过滤掉的微小振动,则由传感器采集平台六个自由度的振动信号输入控制器,由其作出迅速有效的信号处理,以控制音圈作动器,使其提供与平台残余振动大小相等、方向相反的力。
其主要优势在于:
l 进一步消除残余振动,大幅提升空气弹簧光学平台的隔振性能;
l 有效遏制空气弹簧固有频率附近有害的振动放大及共振,使系统能始终处于稳定、优良的工作状态。
l 对于小的冲击,音圈电机反应快,使系统能快速的恢复到稳定状态。
性能指标:
隔振频率 |
1—200Hz |
隔振性能 |
5Hz :衰减90%, 10Hz:衰减 95% |
负载能力 |
根据平台的尺寸而定 |
单作动器最大补偿力 |
±10N (垂直),±10N(水平) |
冲击响应时间 |
≤300ms |
供电 |
220V 50W |
工作温度及条件 |
温度 5-40℃ 湿度 0-60% 工作条件<2500m 海拔高度 |
标准尺寸:
台板规格 |
台板尺寸(mm) |
高度(m) |
载荷(KG) |
009006 |
900×600 |
0.8 |
<135 |
010008 |
1000×800 |
0.8 |
<200 |
012009 |
1200×900 |
0.8 |
<270 |
015010 |
1500×1000 |
0.8 |
<375 |
018010 |
1800×1000 |
0.8 |
<450 |
020010 |
2000×1000 |
0.8 |
<500 |
012012 |
1200×1200 |
0.8 |
<360 |
015012 |
1500×1200 |
0.8 |
<450 |
018012 |
1800×1200 |
0.8 |
<540 |
020012 |
2000×1200 |
0.8 |
<600 |
024012 |
2400×1200 |
0.8 |
<720 |
030012 |
3000×1200 |
0.8 |
<900 |
015015 |
1500×1500 |
0.8 |
<560 |
018015 |
1800×1500 |
0.8 |
<675 |
020015 |
2000×1500 |
0.8 |
<750 |
024015 |
2400×1500 |
0.8 |
<900 |
030015 |
3000×1500 |
0.8 |
<1125 |
应用领域:
扫描探针显微镜(AFM/LFM/STM)
激光干涉仪
激光共聚焦显微镜
对振动有极高要求的仪器设备
系统涉及概念及参数:
l 单个作动器最大补偿力:为系统单个作动器对平台振动所能施加反作用力的最大值。
l 冲击响应时间:为系统受到一定量的冲击振动后恢复稳定所经历的时间; 系统冲击响应时间:300ms。
l 音圈电机:因其结构类似于喇叭的音圈而得名,具有高频响、高精度的特点。根据振动环境和系统总质量的不同,最大可提供±10N的力。
l 传感器:加速度传感器,是感知外界振动信号加速度大小的器件。传感器量程0.5g,频率范围0.05-300Hz,灵敏度10V/G
l 控制器:主要负责信号放大、滤波、变换、采集数据,计算,功率放大的模块。