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徕卡高真空镀膜仪Leica EM ACE600 高真空镀膜仪

Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪,真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵,无油真空系统,真空度可达2×10 -6 mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器,可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制,自动完成抽真空,镀膜,放气等全过程,一键操作。采用触摸屏控制,简单方便。

仪器可选离子溅射镀金属膜,满足高分辨场发射扫描电镜(FE-SEM)需求。可选碳丝蒸发镀碳膜,用于X-射线能谱及波谱分析,或者TEM铜网镀碳膜。还可以选择电子束蒸发方式镀膜,获得极其细腻的金属膜与碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。

1、真空系统
1.1 真空泵:隔膜泵+涡轮分子泵(67l/s),无油真空系统
1.2 极限真空度:≤2×10-6mbar(连续抽真空24h)
1.3 真空计:Pirani真空计+冷阴极真空计
1.4 抽真空时间:仪器干净,分子泵全速,约需15分钟抽至5×10-5mbar,
约8分钟抽至10-4mbar(可以开始镀膜)
2、镀膜方式
2.1 脉冲式碳丝蒸发镀膜法
3、碳丝蒸发法
3.1 蒸发模式:脉冲式碳丝蒸发(专利)*
3.2 一次可安装4组碳丝,单根或双根,自动检测和切换碳丝
3.3 镀膜厚度:1-100nm可调,自动终止,检测精度0.1nm
3.4 靶材相对样品台角度:25°
3.5 碳丝蒸发功率:最大780W
3.6 内置挡板,自动开启与关闭,用于除气时(degas)防止污染
4、样品仓
4.1 方形金属样品仓
4.2 玻璃单仓门,超大面积观察窗
4.3 样品仓内壁可拆卸
4.4 样品仓尺寸:宽:200mm,深:150mm,高:195mm
4.5 LED样品仓内部照明
5、旋转样品台
5.1 三向可调样品台:可旋转,可倾斜,可调节工作距离
5.2 旋转速度:5档可调,触屏控制,马达自动调节
5.3 样品台角度:+/-60°可调,手动调节
5.4 工作距离调节范围:30-100mm,手动调节
5.5 样品台直径:104mm,带24孔,可插入24个SEM标准样品台(12.7mm)
6、QSG石英膜厚检测器
6.1 标配内置QSG石英膜厚检测器
6.2 检测精度:0.1nm
6.3 可设置镀膜厚度范围:碳丝蒸发:1-100nm。
7、操作控制
7.1 内置式彩色触摸屏控制
7.2 全自动,设定参数后,仪器自动抽真空,切换挡板,样品台旋转至指定速度,倾斜至指定角度,工作距离调节至指定高度,镀膜至指定厚度,放气
8、电气参数及环境要求
8.1 电压:100/115/230V(-10%/+15%),50/60Hz
8.2 功率:≤1000W
8.3 保险丝:230V,1A,115V,2A
8.4 USB接口:U盘容量≤32GB
8.5 工作温度:15-30°C
8.6 存储温度:5-40°C
8.7 环境湿度:≤80%
9、尺寸与重量
9.1 主机:宽:~300mm,深:~540mm,高:~640mm
9.2 主机净重:~65kg
9.3 真空样品仓:宽:200mm,深:150mm,高:195mm
9.4 纸箱包装尺寸:宽:600mm,深:800mm,高:920mm,净重:~74kg
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