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日立AeroSurf 1500台式大气压扫描电子显微镜
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1.含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
2.从低真空到大气压（数 Pa～105 Pa），可在大范围压力下进行SEM观察
3.标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能
4.在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）
5.主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
6.无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
2.从低真空到大气压（数 Pa～105 Pa），可在大范围压力下进行SEM观察
3.标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功能
4.在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配）
5.主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利性
6.无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
概要
大气压观察（图1）
- 样品设置在标准大气压环境下（105 Pa）
- 配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观察
- 而且，可通过附带的真空泵在负压下（约103～105 Pa）进行观察
低真空观察（图2）
- 隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析
- 搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 电子枪 | 预对中灯丝 |
| 检测系统 | 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
| 加速电压 | 5 kV/15 kV |
| 倍率 | ×15～×60,000（使用数码变焦时：×240,000） |
| 观察压力 | 大气压模式（105 Pa）（装有隔膜时） |
| 负压模式（约103 Pa～105 Pa）（装有隔膜时） | |
| 低真空模式（数 Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时） | |
| max样品尺寸 | 直径55 mm |
| 大小和重量 |
主机：330（W）×687（D）×565（H）mm, 67.0 kg（手动操作台） 控制装置：220（W）×368（D）×235（H）mm, 11.8 kg 隔膜泵：145（W）×256（D）×217（H）mm, 4.5 kg ×2台 |
更多详细资料可来电咨询，服务热线：400-600-6053！
