日本电子JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜
现在位置:首页 > 产品中心 > 日本电子JSM-7500F 冷场发射扫描电子显微镜

- 产品简介
 - 产品性能参数
 - 适用范围
 - 服务网点
 
                       JSM-7500F场发射扫描镜配备了冷场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜,配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束)能够达到很高的分辨率。通过与GB模式组合,即使是用几百电子伏的入射电子束也能获得很高的分辨率,是非常适合观察样品浅表面的装置之一。此外,JSM-7500F还可以选配用于元素分析等的各种附件。
强大的通用性与高分辨率的组合
JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜组合为一体,冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射电子束观察样品的浅表面
通过给样品加以偏压并照射电子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察.
新型 r-过滤器选择性检测二次电子和背散射电子
新型 r-过滤器有标准SB(二次电子检测)模式、标准BE模式(背散射电子检测)、Sb模式(二次电子为主)和Bs模式(背散射电子为主)四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散射电子的二次电子,Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子,这些功能在简明易懂的菜单上都可一键操作完成。
                    
                    强大的通用性与高分辨率的组合
JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜组合为一体,冷场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射电子束观察样品的浅表面
通过给样品加以偏压并照射电子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察.
新型 r-过滤器选择性检测二次电子和背散射电子
新型 r-过滤器有标准SB(二次电子检测)模式、标准BE模式(背散射电子检测)、Sb模式(二次电子为主)和Bs模式(背散射电子为主)四种模式。Sb模式能检测混有任意比例背散射电子的二次电子,Bs模式能检测混有任意比例二次电子的背散射电子,这些功能在简明易懂的菜单上都可一键操作完成。
| 电子枪 | 冷场发射 | ||
| 物镜 | semi-in-lens物镜 | ||
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV | ||
| 加速电压 | 0.1~30kV | ||
| 束流 | 1pA ~ 2nA | ||
| 自动光阑角控制透镜 | 内置 | ||
| 倍率 | x 25 ~ x 1,000,000 | ||
| 检测器 | 高位检测器(SED) | ||
| 低位检测器(LED) | |||
| 能量过滤器 | r-能量过滤器 | ||
| Gentle Beam模式 | 内置 | ||
| 样品交换室 | 
				内置(具有干燥氮气导入功能) 气锁式、可交换的max样品:φ100mm×40mmH  | 
		||
| 样品台 | 5轴马达驱动、全对中测角样品台 | ||
| 样品移动范围 | X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,倾斜:-5~70°, 旋转: 360° | ||
                       更多详细资料可来电咨询,服务热线:400-600-6053!
                    
                

