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Diener 等离子清洗机 NANO系列

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低压等离子清洗机 Diener NANO系列


低压等离子技术,气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上,材料表面可以被有效的改变。等离子效应可分为以下三类:

一微砂喷射:材料表面通过离子轰击被消减

二化学反应:材料表面与离子化的气体发生化学反应

三紫外线放射:紫外射线将长链碳化合物分解

 

NANO多种配置,完全满足不同客户需求

                VERSION A

VERSION C

          VERSION D


    


   


规格、参数:

系列

Nano系列

控制系统

半自动型

PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

体积

18~36L

真空腔室

圆形不锈钢件,配有盖子
(大约 Φ 267 mm, 长 420 mm 或者长 600 mm)或者

矩形不锈钢件,配有铰链的门
(约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm)

配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门
(大约Φ  240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm)

配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
(大约Φ 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm)

配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
(大约Φ  240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm)

电极

单层或多层

RIE

样品支架

(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

气源

针型阀

质量流量控制器 (MFCs)

压力计

Pirani

Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

数字型

高频电流发生器

40 kHz: 功率 0 - 300 W;0 -1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W

2.45 GHz: 功率 0 - 600 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

电源

台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

应用领域:

REM, TEM    考古 汽车制造业        橡胶制造业
微机械制造   传感器检测 灭菌        纺织业
医疗器械制造业

  塑料制造业                 

研发部门        电子半导体行业

应用:
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)