Diener 等离子清洗机 NANO系列
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低压等离子清洗机 Diener NANO系列
低压等离子技术，气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上，材料表面可以被有效的改变。等离子效应可分为以下三类：
一微砂喷射：材料表面通过离子轰击被消减
二化学反应：材料表面与离子化的气体发生化学反应
三紫外线放射：紫外射线将长链碳化合物分解
NANO多种配置，完全满足不同客户需求
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VERSION A |
VERSION C |
VERSION D |
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规格、参数：
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系列 |
Nano系列 |
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控制系统 |
半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
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体积 |
18~36L |
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真空腔室 |
圆形不锈钢件，配有盖子
矩形不锈钢件，配有铰链的门
配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门
配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门 |
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电极 |
单层或多层 RIE |
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样品支架 |
（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
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气源 |
针型阀 质量流量控制器 (MFCs) |
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压力计 |
Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本） |
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计时器 |
数字型 |
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高频电流发生器 |
40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 |
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真空泵 |
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要） |
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电源 |
台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位 |
应用领域：
| REM, TEM | 考古 | 汽车制造业 | 橡胶制造业 |
| 微机械制造 | 传感器检测 | 灭菌 | 纺织业 |
| 医疗器械制造业 |
塑料制造业 |
研发部门 | 电子半导体行业 |
应用：
表面清洁
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蚀刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂层
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)
