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VTC-100PA真空旋转涂膜机
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VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
主要特点
1、真空吸附方式固定样件，操作简便。
2、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。
3、根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。
4、设有12组程序，每组包含6个运行阶段。
5、电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
技术参数
1、电机功率：50W/24V
2、速度范围：500-10000rpm
3、程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段
4、增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s
5、时间范围：0-60s
6、吸盘：Φ19mm、Φ60mm
7、本机可选配加热功能
1）加温范围：室温——150℃
2）加热盖，水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟
3）温度单独控制，与主机程序控制无关联
产品规格
尺寸：450mm×280mm×340mm
重量：20kg
标准配件
1、真空吸盘（含O型圈）
2、中心定位器（含4个定位柱）
3、滴胶注射器（20ml）
4、注射器支架
5、无油真空泵
6、橡胶管（含卡箍）
可选配件
过滤器（真空泵用）
