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VTC-100PA真空旋转涂膜机

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VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。


主要特点

1、真空吸附方式固定样件,操作简便。

2、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。

3、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。

4、设有12组程序,每组包含6个运行阶段。

5、电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。


技术参数


1、电机功率:50W/24V

2、速度范围:500-10000rpm

3、程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段

4、增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s

5、时间范围:0-60s

6、吸盘:Φ19mm、Φ60mm

7、本机可选配加热功能

1)加温范围:室温——150℃

2)加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟

3)温度单独控制,与主机程序控制无关联


产品规格

尺寸:450mm×280mm×340mm

重量:20kg


标准配件

1、真空吸盘(含O型圈)

2、中心定位器(含4个定位柱)

3、滴胶注射器(20ml)

4、注射器支架

5、无油真空泵

6、橡胶管(含卡箍)


可选配件

过滤器(真空泵用)