产品中心
徕卡高真空镀膜仪Leica EM ACE600 高真空镀膜仪
现在位置：首页 > 产品中心 > 徕卡高真空镀膜仪Leica EM ACE600 高真空镀膜仪
- 产品简介
- 产品性能参数
- 适用范围
- 服务网点
Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪，真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2×10 -6 mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程，一键操作。采用触摸屏控制，简单方便。
仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（FE-SEM）需求。可选碳丝蒸发镀碳膜，用于X-射线能谱及波谱分析，或者TEM铜网镀碳膜。还可以选择电子束蒸发方式镀膜，获得极其细腻的金属膜与碳膜，可用于DNA投影等特殊用途。
1、真空系统
1.1 真空泵：隔膜泵+涡轮分子泵（67l/s），无油真空系统
1.2 极限真空度：≤2×10-6mbar（连续抽真空24h）
1.3 真空计：Pirani真空计+冷阴极真空计
1.4 抽真空时间：仪器干净，分子泵全速，约需15分钟抽至5×10-5mbar，
约8分钟抽至10-4mbar（可以开始镀膜）
2、镀膜方式
2.1 脉冲式碳丝蒸发镀膜法
3、碳丝蒸发法
3.1 蒸发模式：脉冲式碳丝蒸发（专利）*
3.2 一次可安装4组碳丝，单根或双根，自动检测和切换碳丝
3.3 镀膜厚度：1-100nm可调，自动终止，检测精度0.1nm
3.4 靶材相对样品台角度：25°
3.5 碳丝蒸发功率：最大780W
3.6 内置挡板，自动开启与关闭，用于除气时（degas）防止污染
4、样品仓
4.1 方形金属样品仓
4.2 玻璃单仓门，超大面积观察窗
4.3 样品仓内壁可拆卸
4.4 样品仓尺寸：宽：200mm，深：150mm，高：195mm
4.5 LED样品仓内部照明
5、旋转样品台
5.1 三向可调样品台：可旋转，可倾斜，可调节工作距离
5.2 旋转速度：5档可调，触屏控制，马达自动调节
5.3 样品台角度：+/-60°可调，手动调节
5.4 工作距离调节范围：30-100mm，手动调节
5.5 样品台直径：104mm，带24孔，可插入24个SEM标准样品台（12.7mm）
6、QSG石英膜厚检测器
6.1 标配内置QSG石英膜厚检测器
6.2 检测精度：0.1nm
6.3 可设置镀膜厚度范围：碳丝蒸发：1-100nm。
7、操作控制
7.1 内置式彩色触摸屏控制
7.2 全自动，设定参数后，仪器自动抽真空，切换挡板，样品台旋转至指定速度，倾斜至指定角度，工作距离调节至指定高度，镀膜至指定厚度，放气
8、电气参数及环境要求
8.1 电压：100/115/230V（-10%/+15%），50/60Hz
8.2 功率：≤1000W
8.3 保险丝：230V，1A，115V，2A
8.4 USB接口：U盘容量≤32GB
8.5 工作温度：15-30°C
8.6 存储温度：5-40°C
8.7 环境湿度：≤80%
9、尺寸与重量
9.1 主机：宽：～300mm，深：～540mm，高：～640mm
9.2 主机净重：～65kg
9.3 真空样品仓：宽：200mm，深：150mm，高：195mm
9.4 纸箱包装尺寸：宽：600mm，深：800mm，高：920mm，净重：～74kg
1.1 真空泵：隔膜泵+涡轮分子泵（67l/s），无油真空系统
1.2 极限真空度：≤2×10-6mbar（连续抽真空24h）
1.3 真空计：Pirani真空计+冷阴极真空计
1.4 抽真空时间：仪器干净，分子泵全速，约需15分钟抽至5×10-5mbar，
约8分钟抽至10-4mbar（可以开始镀膜）
2、镀膜方式
2.1 脉冲式碳丝蒸发镀膜法
3、碳丝蒸发法
3.1 蒸发模式：脉冲式碳丝蒸发（专利）*
3.2 一次可安装4组碳丝，单根或双根，自动检测和切换碳丝
3.3 镀膜厚度：1-100nm可调，自动终止，检测精度0.1nm
3.4 靶材相对样品台角度：25°
3.5 碳丝蒸发功率：最大780W
3.6 内置挡板，自动开启与关闭，用于除气时（degas）防止污染
4、样品仓
4.1 方形金属样品仓
4.2 玻璃单仓门，超大面积观察窗
4.3 样品仓内壁可拆卸
4.4 样品仓尺寸：宽：200mm，深：150mm，高：195mm
4.5 LED样品仓内部照明
5、旋转样品台
5.1 三向可调样品台：可旋转，可倾斜，可调节工作距离
5.2 旋转速度：5档可调，触屏控制，马达自动调节
5.3 样品台角度：+/-60°可调，手动调节
5.4 工作距离调节范围：30-100mm，手动调节
5.5 样品台直径：104mm，带24孔，可插入24个SEM标准样品台（12.7mm）
6、QSG石英膜厚检测器
6.1 标配内置QSG石英膜厚检测器
6.2 检测精度：0.1nm
6.3 可设置镀膜厚度范围：碳丝蒸发：1-100nm。
7、操作控制
7.1 内置式彩色触摸屏控制
7.2 全自动，设定参数后，仪器自动抽真空，切换挡板，样品台旋转至指定速度，倾斜至指定角度，工作距离调节至指定高度，镀膜至指定厚度，放气
8、电气参数及环境要求
8.1 电压：100/115/230V（-10%/+15%），50/60Hz
8.2 功率：≤1000W
8.3 保险丝：230V，1A，115V，2A
8.4 USB接口：U盘容量≤32GB
8.5 工作温度：15-30°C
8.6 存储温度：5-40°C
8.7 环境湿度：≤80%
9、尺寸与重量
9.1 主机：宽：～300mm，深：～540mm，高：～640mm
9.2 主机净重：～65kg
9.3 真空样品仓：宽：200mm，深：150mm，高：195mm
9.4 纸箱包装尺寸：宽：600mm，深：800mm，高：920mm，净重：～74kg
更多详细资料可来电咨询！
