高真空镀膜仪 离子溅射镀膜仪
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主要特性
一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和镀膜效果。
可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
技术参数
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溅射系统 |
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样品室大小 |
直径120mm x 120mm 高 |
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靶材 |
标配Au ,可选配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大小：直径57mm x 0.1mm厚 |
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样品台 |
可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为65mm。可选配旋转倾斜样品台， 旋转速度：0~120rpm可调，倾斜角度：0~90°可调。旋转样品台具有单独腔体保护，可防污染。 |
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溅射控制 |
微处理器控制，安全互锁，可调，电流10、20、30、40mA，程序化数字控制 |
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溅射头 |
低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
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计量 |
atm~1*10-3mba / 0~50mA |
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厚度监控(选件) |
使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程. |
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控制方法 |
自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s），自动放气.整个操作亦可全手动控制。 |
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真空系统 |
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真空泵 |
原装进口2级直连式高速真空泵 |
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抽气速率 |
100L/MIN |
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噪音 |
50dB |
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真空 |
≤1 x 10-3 Torr |
