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高真空镀膜仪 离子溅射镀膜仪

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108 Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,
五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和镀膜效果。
可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

技术参数

溅射系统

样品室大小

直径120mm x 120mm 高

靶材

标配Au ,可选配 Au:Pd, Pt, Pt:Pd等;大小:直径57mm x 0.1mm厚

样品台

可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为65mm。可选配旋转倾斜样品台,

旋转速度:0~120rpm可调,倾斜角度:0~90°可调。旋转样品台具有单独腔体保护,可防污染。

溅射控制

微处理器控制,安全互锁,可调,电流10、20、30、40mA,程序化数字控制

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

计量

atm~1*10-3mba   / 0~50mA

厚度监控(选件)

使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程.

控制方法

自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(5-300s),自动放气.整个操作亦可全手动控制。

真空系统

真空泵

原装进口2级直连式高速真空泵

抽气速率

100L/MIN

噪音

50dB

真空

≤1   x 10-3 Torr


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