Ellip-SR 穆勒矩阵椭偏仪
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一．主要用途
1.各种自响应功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析；测量薄膜材料的折射率和厚度；
2.测量对象包括：金属、半导体、超导体、绝缘体、非晶体、超晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料；
二．产品特点
1. 连续波长的光源为用户提供了更大地应用空间
2. 厚度不均匀修正：包含光谱测量厚度不均匀致退偏效应的修正功能
3. 退偏修正：包含测量带宽及数值孔径退偏效应修正建模功能
4. 全局参数校准功能：包含Global Fit全局参数校准方法及校准定义一/多维阵列光谱匹配初值覆盖扫描多变量功能
5. 偏振差值参数：便捷一键获得椭偏角差值，相位角差值
三. 主要技术参数：
1. 波长范围：190-1000nm
2. 测量光斑：常规大光斑2mm，汇聚微光斑150μm
3. 偏振参数（实测/拟合）：Mueller Matrix数量16组，Psi范围0-90°，Delta范围-90-270°
4. 测量角度： 45-90°，两颗紧固螺钉正面定位销固定
5. 调制技术：双旋补偿偏振技术
6. 功能组件：光强切换自动、手动5位档光强自适应快速切换
7. 精度指标
执行重复测量100nm SiO2/Si的SiO2膜厚值30次计算d标准偏差：0.004nm
执行重复测量100nm SiO2/Si的SiO2膜厚值30次计算632.8nm折射率n标准偏差：0.00015
执行测量自然Si计算全190-1000nm波段90%优于：±0.5%
8. 膜厚范围：透明薄膜：1-4000nm，吸收薄膜与材料性质相关；
9. 折射率范围：1.1-10
10. 分析软件：
厚度不均匀修正：包含光谱测量厚度不均匀致退偏效应的修正功能
退偏修正：包含测量带宽及数值孔径退偏效应修正建模功能
全局参数校准功能：包含Global Fit全局参数校准方法及校准定义一/多维阵列光谱匹配初值覆盖扫描多变量功能
偏振差值参数：便捷一键获得椭偏角差值，相位角差值200多种光学材料常数数据库
