蜂窝隔振光学平台 精密光学平台
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蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台板，台板强度高，稳定可靠；隔振器采用摆杆的结构创新设计，该结构的水平固有频率相对于常规气浮平台较低，该支撑在水平方向有很好的隔振效果和承载能力。关键气动执行元件均采用德国FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。
▪ 阻尼结构工作台板，可消除表面共振
▪ 台板可选
▪ 完全密封孔
▪ 自动调平
▪ 利用单摆原理得到更低的水平方向固有频率
标准尺寸：
|
台板规格 |
台板尺寸（mm） |
固有频率 |
高度（m） |
载荷（KG） |
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009006 |
900×600 |
垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜135 |
|
010008 |
1000×800 |
垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜200 |
|
012009 |
1200×900 |
垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜270 |
|
015010 |
1500×1000 |
垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜375 |
|
018010 |
1800×1000 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜450 |
|
020010 |
2000×1000 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜500 |
|
012012 |
1200×1200 |
垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜360 |
|
015012 |
1500×1200 |
垂直：2.0Hz 水平：1.5Hz |
0.8 |
＜450 |
|
018012 |
1800×1200 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜540 |
|
020012 |
2000×1200 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜600 |
|
024012 |
2400×1200 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜720 |
|
030012 |
3000×1200 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜900 |
|
035012 |
3500×1200 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1050 |
|
040012 |
4000×1200 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1200 |
|
050012 |
5000×1200 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1500 |
|
060012 |
6000×1200 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2000 |
|
015015 |
1500×1500 |
垂直：1.8Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜560 |
|
018015 |
1800×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜675 |
|
020015 |
2000×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜750 |
|
024015 |
2400×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜900 |
|
030015 |
3000×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1125 |
|
035015 |
3500×1500 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1300 |
|
040015 |
4000×1500 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1500 |
|
050015 |
5000×1500 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1875 |
|
060015 |
6000×1500 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2250 |
|
024018 |
2400×1800 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1080 |
|
030018 |
3000×1800 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1350 |
|
035018 |
3500×1800 |
垂直：1.5Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1575 |
|
040018 |
4000×1800 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1800 |
|
050018 |
5000×1800 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2250 |
|
060018 |
6000×1800 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2700 |
|
030020 |
3000×2000 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1500 |
|
035020 |
3500×2000 |
垂直：1.2Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜1750 |
|
040020 |
4000×2000 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2000 |
|
050020 |
5000×2000 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜2500 |
|
060020 |
6000×2000 |
垂直：1.0Hz 水平：1.0Hz |
0.8 |
＜3000 |
性能指标：
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固有频率 |
垂直：1.0～2.0Hz 水平：1.0～1.5Hz |
|
隔振方式 |
空气弹簧 摆杆隔振 |
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调平方式 |
自动调平 |
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阻尼方式 |
多小孔空气阻尼 |
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平台高度 |
800mm |
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工作压力 |
0.2～0.4MPa |
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空气源 |
静音空气压缩机 ＜50dB |
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隔振效率 |
垂直：5Hz时：86～92% ；10Hz时：90～95% 水平：5Hz时：88～94% ；10Hz时：92～98% |
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重复定位精度 |
±0.1mm |
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台板平面度 |
≤0.05mm/m² |
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台板粗糙度 |
≤0.8μm，表面亚光处理 |
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调节高度 |
±10mm |
应用领域：
显微镜、医疗生物
光路测试、光学测量
激光扫描、激光干涉
光谱实验、精密检测
集成电子
对振动要求非常高的仪器设备
