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主动控制隔振平台- MRT-P/B系列

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MRT-P/B主动隔振平台以连胜ZDT高性能空气弹簧作为基本的支撑;同时配以传感器、控制电路和音圈作动器,共同组成精密主动控制隔振系统。其中P/B型空气弹簧,一方面解决了光学平台及仪器设备的承载问题,另一方面可以对大于其隔振频率的环境振动进行第一级过滤;对于未完全过滤掉的微小振动,则由传感器采集平台六个自由度的振动信号输入控制器,由其作出迅速有效的信号处理,以控制音圈作动器,使其提供与平台残余振动大小相等、方向相反的力。


其主要优势在于: 

l  进一步消除残余振动,大幅提升空气弹簧光学平台的隔振性能;

l  有效遏制空气弹簧固有频率附近有害的振动放大及共振,使系统能始终处于稳定、优良的工作状态。

l  对于小的冲击,音圈电机反应快,使系统能快速的恢复到稳定状态。

性能指标:


      隔振频率

  1—200Hz

      隔振性能

  5Hz :衰减90%,

  10Hz:衰减 95%

      负载能力

  根据平台的尺寸而定

      单作动器最大补偿力

   ±10N (垂直),±10N(水平)

      冲击响应时间

   ≤300ms

      供电

   220V   50W

      工作温度及条件

   温度 5-40℃

   湿度 0-60%

   工作条件<2500m 海拔高度



标准尺寸:


台板规格

台板尺寸(mm)

高度(m)

载荷(KG)

009006

900×600

0.8

<135

010008

1000×800

0.8

<200

012009

1200×900

0.8

<270

015010

1500×1000

0.8

<375

018010

1800×1000

0.8

<450

020010

2000×1000

0.8

<500

012012

1200×1200

0.8

<360

015012

1500×1200

0.8

<450

018012

1800×1200

0.8

<540

020012

2000×1200

0.8

<600

024012

2400×1200

0.8

<720

030012

3000×1200

0.8

<900

015015

1500×1500

0.8

<560

018015

1800×1500

0.8

<675

020015

2000×1500

0.8

<750

024015

2400×1500

0.8

<900

030015

3000×1500

0.8

<1125


应用领域: 

        扫描探针显微镜(AFM/LFM/STM)

        激光干涉仪

        激光共聚焦显微镜

        对振动有极高要求的仪器设备 

系统涉及概念及参数: 

l  单个作动器最大补偿力:为系统单个作动器对平台振动所能施加反作用力的最大值。

l  冲击响应时间:为系统受到一定量的冲击振动后恢复稳定所经历的时间;      系统冲击响应时间:300ms。

l  音圈电机:因其结构类似于喇叭的音圈而得名,具有高频响、高精度的特点。根据振动环境和系统总质量的不同,最大可提供±10N的力。

l  传感器:加速度传感器,是感知外界振动信号加速度大小的器件。传感器量程0.5g,频率范围0.05-300Hz,灵敏度10V/G

l  控制器:主要负责信号放大、滤波、变换、采集数据,计算,功率放大的模块。